發展電子級硫酸的封閉式循環模式

強方科技透過以租代買及硫酸循環再利用的技術,有效解決半導體產業的硫酸廢液、以及降低碳排和水足跡。

高純度硫酸主要應用在半導體製程中的RCA製程,使用後的硫酸主要採用酸鹼中和或衍生再利用(如:轉製為硫酸銨,主要為氮肥的原料)兩種處理方式,但各有衍生議題。

半導體發展,帶動廢硫酸的生成

臺灣每年半導體產業約產生超過30萬噸以上廢硫酸,佔全部液態化學品廢棄物超過50%。隨臺灣積體電路產業的蓬勃發展,帶動電子級高純度硫酸的需求成長。據估計,每新增一座12吋晶圓廠(P1-P4)-先進製程,每年產生約3-5萬噸廢硫酸。

以租代買的硫酸循環模式

強方科技建立全世界第一座電子級硫酸循環再利用工廠,並攜手台灣政府並引進美商杜邦公司專利設備和技術,將使用過的電子級硫酸的硫透過裂解、淨化、吸收、純化的製程,經由還原、氧化反應將硫重生再利用,推動半導體產業落實電子級硫酸之循環利用。電子級硫酸再生製程會產生副產品工業級硫酸,強方科技之製程可以將此副產品做為原料用於電子級硫酸再生過程。

強方重新定義供應商與使用者間的關係。透過「租賃」模式,強方保有電子級硫酸的「所有權」,並提供客戶可全循環的電子級硫酸服務。客戶僅需將化學品專管專用,確保回收酸之物理化學性質可控。

強方已成功使用硫磺與模擬廢酸生產出達標的全循環電子級硫酸,目前正積極推廣中。

效益

  • 協助半導體廠達到化學品減廢、化學品減量、製程減碳、製程節水。

本案例內容由強方科技股份有限公司提供
審稿編輯:循環台灣基金會
審稿日期:2024年9月