安堉研發有機⾦屬化學氣相沉積(MOCVD)設備之關鍵模組–氣體噴灑模組(Showerhead)，可替換原廠的氣體噴灑模組。在新一代設備推出後，使用端工廠因缺乏支援而停用的舊型機台、閒置舊機台在更換安堉新型氣體噴灑模組後，可以重新投入生產，具有更佳效率品質且氣體材料耗用量更少，可以延長保養週期及壽命。
MOCVD設備及關鍵零組件⻑期倚賴國外供應商，不利於產品升級與創新研發，影響國內光電產業廠商競爭力，而氣體噴灑模組是決定MOCVD機台⽣產良率最重要的零組件，目前MOCVD設備若老舊即面臨淘汰，但機台價格動輒數千萬元，若需要⼀直購置新設備，對於業者將帶來龐大的成本壓⼒。
獨特設計，活化舊機
經由熱流場及化學反應場的模擬分析而設計製造的氣體噴灑模組，具有獨特的雙層緩衝層及同心環流道設計結構，促使流場均勻，進而提升磊晶均勻性。同心環孔洞排列設計增加氣體滯留在反應腔體時間，因此提高了氣體使用率，減少氣體耗量。此結構設計縮短氣體擴散距離，加快反應速度而提高鍍率，亦即提升生產效率。藉由此獨特設計的氣體噴灑模組，可活化舊機再次投入生產，創造更多價值。
軟硬整合模組，設備升級增值
磊晶製程優化軟體系統是透過多重物理與化學模擬分析，加上製程參數實驗，計算出優化的模擬分析資料，再導入巨量資料庫，建構而成的製程參數預測軟體系統。搭配氣體噴灑模組硬體，磊晶製程人員獲得製程參數的時間至少縮短為十分之一，預測鍍膜鍍率及膜厚均勻性的準確度達95%以上。
效益
- 氣體使用量減少10%；延長模組壽命1倍。
本案例內容由安堉創新科技股份有限公司提供
審稿編輯：循環台灣基金會
審稿日期：2019年9月