在追求企業突破與成長的同時，台積公司自許成為綠色力量的執行者，以實際行動響應循環經濟，與環境共生共榮。廠內將硫酸銨廢液以機械式蒸汽再壓縮技術，轉製為工業級硫酸銨產品，成功將硫酸銨廢液「點石成金」，此循環模式為半導體業界首例，朝減廢的永續目標不斷邁進。
隨著半導體先進製程的變革演進，在使用大量化學品的同時亦伴隨著廢棄物大量產出，在工業級需求通路受限之下，未來將造成廢棄物去化問題。有鑑於此，台積公司秉持搖籃到搖籃的精神，將廢棄物轉化為有價值之資源。
回收製程廢硫酸及氨氮廢水再利用
台積公司針對晶圓製程所產生的廢硫酸及氨氮廢水，主動開發「廢硫酸及氨氮廢水前處理系統」，以廠內再生後之廢硫酸為吸收劑，與氨氮廢水結合轉製為硫酸銨廢液。此舉不僅符合科學管理局規範之氨氮納管標準，同時亦有效減少廢硫酸委外處理量。
再生為有價資源循環使用
台積公司導入ＭVR技術且建立「硫酸銨除水結晶系統」以實現循環經濟。透過機械式蒸氣再壓縮技術，將硫酸銨廢液去除水結晶，再製為有價的硫酸銨產品，銷售至皮革、染整業做為原料使用。
效益
- 創造約NTD 2億/年之效益 (包含減少委外再利用費用及再生產品銷售費用)。
本案例內容由台灣積體電路製造股份有限公司提供
審稿編輯：循環台灣基金會
審稿日期：2019年9月
更新日期：2023年7月