首創氨氮廢水再製為半導體級原料

在追求企業突破與成長的同時,台積公司自許成為綠色力量的執行者,以實際行動響應循環經濟,與環境共生共榮。廠內將硫酸銨廢液以機械式蒸汽再壓縮技術,轉製為工業級硫酸銨產品,此循環模式為半導體業界首例。亦已同步整合廠商之純化技術,規劃將工業級硫酸銨產品轉化為電子級氨水,使廢棄物高值化成為半導體級原料,以達成物料循環與貫徹循環經濟的理念。

隨著半導體先進製程的變革演進,在使用大量化學品的同時亦伴隨著廢棄物大量產出,在工業級需求通路受限之下,未來將造成廢棄物去化問題。有鑑於此,台積公司秉持搖籃到搖籃的精神,將廢棄物轉化為有價值之資源,以及再高值化為原物料,循環回到原產業使用。

從氨氮廢水到工業級硫酸銨產品

以廠內再生後之廢硫酸為吸收劑,與氨氮廢水結合轉製為硫酸銨廢液。透過機械式蒸氣再壓縮技術,將硫酸銨廢液去除水結晶,再製為有價的工業級硫酸銨產品,銷售至皮革、染整業做為工業原料使用。

從工業級硫酸銨產品到半導體級原料

工業級硫酸銨原料透過超重力旋轉填充床提出氨氣,並以低溫蒸餾的方式進行純化、壓縮成液氨,再進一步以純水吸收與過濾除雜,將液氨轉化為電子級氨水,循環回原產業使用。

效益

  • 創造大於NTD 2億/年之效益 (包含減少委外再利用費用及再生產品銷售費用),並預計可再製成大於30,000噸/年之電子級氨水。