在追求企業突破與成長的同時，台積公司自許成為綠色力量的執行者，以實際行動響應循環經濟，與環境共生共榮。廠內將硫酸銨廢液以機械式蒸汽再壓縮技術，轉製為工業級硫酸銨產品，此循環模式為半導體業界首例。亦已同步整合廠商之純化技術，規劃將工業級硫酸銨產品轉化為電子級氨水，使廢棄物高值化成為半導體級原料，以達成物料循環與貫徹循環經濟的理念。
隨著半導體先進製程的變革演進，在使用大量化學品的同時亦伴隨著廢棄物大量產出，在工業級需求通路受限之下，未來將造成廢棄物去化問題。有鑑於此，台積公司秉持搖籃到搖籃的精神，將廢棄物轉化為有價值之資源，以及再高值化為原物料，循環回到原產業使用。
從氨氮廢水到工業級硫酸銨產品
以廠內再生後之廢硫酸為吸收劑，與氨氮廢水結合轉製為硫酸銨廢液。透過機械式蒸氣再壓縮技術，將硫酸銨廢液去除水結晶，再製為有價的工業級硫酸銨產品，銷售至皮革、染整業做為工業原料使用。
從工業級硫酸銨產品到半導體級原料
工業級硫酸銨原料透過超重力旋轉填充床提出氨氣，並以低溫蒸餾的方式進行純化、壓縮成液氨，再進一步以純水吸收與過濾除雜，將液氨轉化為電子級氨水，循環回原產業使用。
效益
- 創造大於NTD 2億/年之效益 (包含減少委外再利用費用及再生產品銷售費用)，並預計可再製成大於30,000噸/年之電子級氨水。
本案例內容由台灣積體電路製造股份有限公司提供
審稿編輯：循環台灣基金會
審稿日期：2019年9月