活化舊機台,用循環創造新價值

安堉研發有機⾦屬化學氣相沉積(MOCVD)設備之關鍵模組–氣體噴灑模組(Showerhead),可替換原廠的氣體噴灑模組。在新一代設備推出後,使用端工廠因缺乏支援而停用的舊型機台、閒置舊機台在更換安堉新型氣體噴灑模組後,可以重新投入生產,具有更佳效率品質且氣體材料耗用量更少,可以延長保養週期及壽命。

MOCVD設備及關鍵零組件⻑期倚賴國外供應商,不利於產品升級與創新研發,影響國內光電產業廠商競爭力,而氣體噴灑模組是決定MOCVD機台⽣產良率最重要的零組件,目前MOCVD設備若老舊即面臨淘汰,但機台價格動輒數千萬元,若需要⼀直購置新設備,對於業者將帶來龐大的成本壓⼒。

獨特設計,活化舊機

經由熱流場及化學反應場的模擬分析而設計製造的氣體噴灑模組,具有獨特的雙層緩衝層及同心環流道設計結構,促使流場均勻,進而提升磊晶均勻性。同心環孔洞排列設計增加氣體滯留在反應腔體時間,因此提高了氣體使用率,減少氣體耗量。此結構設計縮短氣體擴散距離,加快反應速度而提高鍍率,亦即提升生產效率。藉由此獨特設計的氣體噴灑模組,可活化舊機再次投入生產,創造更多價值。

軟硬整合模組,設備升級增值

磊晶製程優化軟體系統是透過多重物理與化學模擬分析,加上製程參數實驗,計算出優化的模擬分析資料,再導入巨量資料庫,建構而成的製程參數預測軟體系統。搭配氣體噴灑模組硬體,磊晶製程人員獲得製程參數的時間至少縮短為十分之一,預測鍍膜鍍率及膜厚均勻性的準確度達95%以上。

效益

  • 氣體使用量減少10%;延長模組壽命1倍。
以全循環經濟串聯黃金材料供應鏈